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技術(shù)編號：3252235

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本發(fā)明是關(guān)于用于懸吊噴灑頭的設(shè)備及方法，其中噴灑頭是用于將氣體分配至制造平面顯示器、半導(dǎo)體及其它電子組件的真空處理室。更明確而言，本發(fā)明是關(guān)于最小化因懸置機構(gòu)與噴灑頭的熱膨脹及收縮所致的應(yīng)力。背景技術(shù) 一般像平面顯示器及集成電路的電子組件通常是由一連串制程步驟制造而成，使數(shù)種層沉積于一基材上，并使沉積材料蝕刻為所欲圖案。制程步驟通常包括等離子增強化學(xué)氣相沉積制程、熱化學(xué)(非等離子)氣相沉積制程以及等離子增強蝕刻制程?；耐ǔＪ前卜庞谡婵仗幚硎?稱為制程處理...
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