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真空蒸鍍機(jī)臺(tái)的蒸鍍?cè)囱b置及其蒸鍍方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3252594

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本發(fā)明有關(guān)于一種,特別是一種提供基板作蒸鍍制造工藝的(evaporation module of evaporation machine and evaporation method utilizingthe same)。背景技術(shù) 請(qǐng)參閱圖1,現(xiàn)有的真空蒸鍍?cè)O(shè)備10用以對(duì)基板20進(jìn)行蒸鍍制造工藝,該真空蒸鍍?cè)O(shè)備10包括有腔體11以及蒸鍍機(jī)臺(tái)12,蒸鍍機(jī)臺(tái)12包括有復(fù)數(shù)蒸鍍?cè)?21、122、123、124,并且這些蒸鍍?cè)?21、122、123、124依序以線...
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