技術(shù)編號(hào):3252594
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明有關(guān)于一種,特別是一種提供基板作蒸鍍制造工藝的(evaporation module of evaporation machine and evaporation method utilizingthe same)。背景技術(shù) 請(qǐng)參閱圖1,現(xiàn)有的真空蒸鍍?cè)O(shè)備10用以對(duì)基板20進(jìn)行蒸鍍制造工藝,該真空蒸鍍?cè)O(shè)備10包括有腔體11以及蒸鍍機(jī)臺(tái)12,蒸鍍機(jī)臺(tái)12包括有復(fù)數(shù)蒸鍍?cè)?21、122、123、124,并且這些蒸鍍?cè)?21、122、123、124依序以線...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。