技術(shù)編號(hào)：3254175
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種如權(quán)利要求I前序部分所述的電弧蒸發(fā)源。在本說明書中電弧蒸發(fā)源指得是一種用之可以在真空中產(chǎn)生一種其焦點(diǎn)位于陰極上的弧光的裝置，其中由所述陰極(=靶物)提供要蒸發(fā)的材料并且所述焦點(diǎn)引起所述靶物材料的蒸發(fā)。背景技術(shù)電弧蒸發(fā)源是現(xiàn)有公知的。Snaper在US 3625848中公開了一種“射束槍”(beam gun)，這種“射束槍”帶有一個(gè)陰極和一個(gè)陽極，它們被布置成在其間可以進(jìn)行火花放電。在此所述陰極用要離析的材料構(gòu)成。該文中說明的陽極具有一種圓錐形...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。