技術(shù)編號(hào):3254659
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于電鏡薄膜樣品的制備技術(shù)。背景技術(shù)合金功能薄膜由于具有優(yōu)良的特性得到愈來(lái)愈廣泛的應(yīng)用,人們有必要通過(guò)透射電鏡技術(shù)對(duì)其微觀組織與結(jié)構(gòu)進(jìn)行研究,但用于透射電子顯微鏡觀察的薄膜樣品的厚度很小(一般在5~200nm之間),一般通過(guò)先在襯底上鍍上一層幾個(gè)微米厚的合金膜后,再通過(guò)機(jī)械減薄(如研磨)、電化學(xué)減薄或離子減薄等傳統(tǒng)方法使薄膜樣品達(dá)到電鏡觀察所要求的厚度。上述過(guò)程中容易造成應(yīng)變并引入假象,并對(duì)樣品的原始組織和結(jié)構(gòu)造成不同程度的損傷,從而不能很好地反映膜...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。