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技術(shù)編號：3255729

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本發(fā)明涉及一種基于分級結(jié)構(gòu)化復(fù)合彈性研拋盤的動壓光整系統(tǒng)，適用于光學(xué)元件、非晶薄膜襯底等工件表面的研磨與拋光加工。背景技術(shù)光整加工是指從待加工工件上不切除或切除極薄材料層，用以改善工件表面粗糙度或強化其表面的加工過程，采用的方法包括拋光和研磨。傳統(tǒng)的利用研磨盤或拋光盤的光整系統(tǒng)將研磨與拋光工序分開，使得由研磨過度到拋光時系統(tǒng)需要將研磨盤更換為拋光盤，很難提升加工效率。即使是單一的研磨加工，單一磨粒粒度的研磨盤也并不能使工件完 全達到所需的表面粗糙度或者需要...
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