技術編號：3256309
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及鉿中所含有的鋯、氧、硫和磷等雜質的含量降低的高純度鉿材料、由該 高純度鉿材料形成的靶和薄膜以及。背景技術 目前為止，有很多關于鉿的制造的文獻，但是，鉿與鋯在原子結構和化學性質方面 非常類似，如下所例示地，無論是含有鋯，還是鋯中含有鉿，都沒有真正看成是問題。 鉿和鋯耐熱性、耐蝕性優(yōu)良，并且具有與氧和氮等的親和力大的特性。并且，它們 的氧化物或氮化物在高溫下具有優(yōu)良的穩(wěn)定性，因此作為核陶瓷、鋼或鑄件的制造領域的 耐火材料使用。另外，最近作為電子材料...
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