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制備納米級(jí)超薄硅可協(xié)變襯底的可控性腐蝕法的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3257178

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體硅微機(jī)械加工,是一種在室溫下通過(guò)氨水濕法可控性腐蝕來(lái)制備超薄納米級(jí)硅可協(xié)變襯底。背景技術(shù) 隨著微電子和光電子技術(shù)的發(fā)展,越來(lái)越需要把不同的器件集成在一起。器件的集成首先是不同材料的結(jié)合,其中面臨的主要挑戰(zhàn)是材料之間晶格常數(shù)和熱膨脹系數(shù)的差異。由于熱失配所引起的應(yīng)變比晶格失配產(chǎn)生的應(yīng)變小一個(gè)數(shù)量級(jí),所以人們主要考慮的是晶格失配。在異質(zhì)外延生長(zhǎng)中應(yīng)用最廣泛的是緩沖層技術(shù),但該技術(shù)對(duì)小失配體系有明顯的效果,而對(duì)大失配體系沒(méi)有明顯的作用。1991年...
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