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一種細(xì)長(zhǎng)管筒內(nèi)表面濺射沉積涂層方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3258388

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本發(fā)明涉及細(xì)長(zhǎng)管筒內(nèi)表面的涂層工藝。背景技術(shù)細(xì)長(zhǎng)管筒的內(nèi)表面涂層問(wèn)題一直困擾著表面工程領(lǐng)域的專(zhuān)家技術(shù)人員。不同于內(nèi)表面的電鍍方法,電鍍?nèi)芤嚎梢院芊奖愕亓鞯剿桦婂兊牟课?。?duì)于真空涂鍍,涂層介質(zhì)很難達(dá)到細(xì)長(zhǎng)管筒內(nèi)部深處。如果采用等離子體涂層的辦法,一種是等離子體在內(nèi)部產(chǎn)生,但由于內(nèi)部空間狹小輝光放電很難建立;另外是等離子體在外部產(chǎn)生,但由于等離子體的自復(fù)合效應(yīng)很難宏觀輸運(yùn)到很遠(yuǎn)的地方,也就是說(shuō)在細(xì)長(zhǎng)管內(nèi)部深處很難得到等離子體。若采用濺射方案,可以利用離子束來(lái)...
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