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技術(shù)編號(hào)：3258470

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本發(fā)明屬于硅片磨削加工，涉及一種基于化學(xué)機(jī)械磨削原理磨削硅片的軟磨料砂輪。 背景技術(shù)超精密磨削是集成電路制造過程中用于硅片平整化加工、背面減薄、太陽(yáng)能多晶硅錠的磨方加工等的重要加工方法之一。目前廣泛采用樹脂結(jié)合劑或陶瓷結(jié)合劑細(xì)粒度金剛石微粉砂輪磨削硅片，磨削過程中以金剛石的高速切削作用去除材料。由于金剛石磨粒硬度比硅片高，加工過程中會(huì)在硅片表面形成磨削損傷層。為了去除磨削損傷層、提高磨削表面完整性，提出了采用軟磨料砂輪的化學(xué)機(jī)械磨削方法。該方法兼顧超精密磨...
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