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技術(shù)編號(hào)：3260261

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本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體制造工序中用于形成氧化硅層的旋涂玻璃(SOG)組合物，涉及由此制造的半導(dǎo)體器件，以及涉及使用該旋涂玻璃(SOG)組合物形成氧化硅層的方法。更具體地說，本發(fā)明涉及包括聚硅氮烷的旋涂玻璃組合物及其在半導(dǎo)體器件中形成氧化硅層的使用。背景技術(shù) 半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì)近來取得快速的進(jìn)展。特別，這些進(jìn)展要求半導(dǎo)體器件具有高工作速度的功能和具有大的存儲(chǔ)電容量。為了滿足這種要求，增加了密度、可靠性和響應(yīng)時(shí)間的半導(dǎo)體器件正在研制中。一般通過在單個(gè)襯底上形成大量的...
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