技術編號：3260470
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及微觀科學領域的原子力顯微鏡探針，具體是用磁控濺射法對原子力顯微鏡探針(硅或氮化硅)進行金膜修飾的方法。背景技術原子力顯微鏡是材料微觀測試領域的一種重要的分析儀器，可以在納米級別上對各種材料和樣品的物理性質包括形貌和力學性能等進行探測，被廣泛應用于納米技術科學、材料科學、表面科學、半導體工業(yè)、生物醫(yī)學科學等領域。原子力顯微鏡金探針主要用于兩方面，(I)導電金針,可用于導電AFM測量，及對 半導體材料表面進行陽極氧化等納米加工；(2)功能化生物分子的...
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