技術編號：3261239
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及鍍膜，特別是一種通過離子輔助方式進行鍍膜的鍍膜方法及其鍍膜裝置。背景技術物理蒸鍍法作為形成無機膜和有機膜的方法被廣泛應用。物理蒸鍍法根據(jù)鍍膜方法的不同，大致分為真空蒸鍍法、濺射法、和離子電鍍方法。 在上述的真空蒸鍍法或是濺射法等物理方法中，離子輔助的鍍膜方法已被知曉。在真空鍍膜腔室內，鍍膜材料在基板表面上沉積進行鍍膜時，通過離子照射鍍膜材料的蒸汽及沉積在基板上形成的薄膜，對所形成的薄膜的致密性等的改善工藝過程稱之為離子輔助蒸鍍。例如，對應于傘狀的...
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