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技術(shù)編號：3261427

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本發(fā)明屬于真空鍍膜，涉及一種真空鍍膜領(lǐng)域的真空輔助部件，具體涉及一種使器件在手套箱與真空室之間轉(zhuǎn)移的傳遞裝置。背景技術(shù)當前，隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，真空沉積的多層膜器件層出不窮，器件的生產(chǎn)過程中多層膜要求不脫離真空環(huán)境或保護氣體的環(huán)境進行清洗、光刻、檢測和封裝等多種操作；手套箱可以使器件不脫離真空環(huán)境或保護氣體的環(huán)境進行清洗、光刻、檢測和封裝等多種操作；這樣就需要使多層膜器件在真空室與手套箱之間傳遞，手套箱與真空室之間的過渡室·保證了器件在轉(zhuǎn)移過程中不脫離真空...
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