技術(shù)編號：3262901
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種。 背景技術(shù)透明導(dǎo)電膜可用于液晶顯示器、有機EL顯示器、等離子顯示器等顯示器的電 極、太陽能電池的電極、窗玻璃的熱線反射膜、防靜電膜等。作為透明導(dǎo)電膜熟知ITO膜 (In2O3-SnO2系)，但由于h為稀有金屬，因此，正在追求h含量少的透明導(dǎo)電膜。作為那樣 的透明導(dǎo)電膜，已知SiO-Sr^2系的膜，在日本特開平8-1718 號公報中記載有將混合·燒 成ZnO和SnA而得到的燒成粉末作為靶，通過濺射成膜，得到Si2SnO4或SiSnO3的透明導(dǎo)...
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