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技術(shù)編號：3279047

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本發(fā)明的實施例一般地涉及處理系統(tǒng)及其操作方法。具體地，本發(fā)明的實施例涉及處理系統(tǒng)中的處理室的利用，例如，用于多層堆疊沉積。具體地，本發(fā)明的實施例涉及襯底處理系統(tǒng)和在襯底處理系統(tǒng)中沉積層堆疊的方法。背景技術(shù)在大量的技術(shù)應(yīng)用中，在襯底上方不同材料的層被堆疊在彼此上方。通常地，這在涂布或沉積步驟的序列中完成，其中，類似于蝕刻或結(jié)構(gòu)化的其他處理步驟也可以例如在各個沉積步驟之前、之間或之后提供。例如，可以沉積具有“材料一“材料二“材料一” 順序的多層堆疊。由于不同處...
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