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技術(shù)編號：3279145

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本發(fā)明涉及用于連續(xù)地沉積薄膜的設(shè)備，且更具體地涉及這樣的用于連續(xù)地沉積薄膜的設(shè)備，其中有機材料被長時間地蒸發(fā)并且因此作為薄膜沉積在基板上。背景技術(shù)有機發(fā)光顯示裝置是代表性的平板顯示裝置，該有機發(fā)光顯示裝置具有這樣的結(jié)構(gòu)，其中包括有機發(fā)光層的有機薄膜被夾設(shè)在基板上的金屬陰極與透明陽極之間。因此，在制造具有有機發(fā)光顯示裝置的基板時，存在沉積有機材料以形成包括有機發(fā)光層的有機薄膜的過程。為了在基板上沉積這種有機薄膜，通常采用真空熱沉積方法。真空熱沉積方法使用加熱...
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