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技術(shù)編號(hào)：3279861

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本發(fā)明涉及一種氣囊拋光，尤其涉及針對(duì)各種光學(xué)元件氣囊拋光的。背景技術(shù)氣囊拋光技術(shù)作為近幾年發(fā)展迅速的拋光方法，已被廣泛應(yīng)用于光學(xué)元件的拋光。氣囊拋光采用充氣球形柔性氣囊作為拋光工具或氣囊外表面粘貼拋光墊作為拋光工具對(duì)曲面進(jìn)行拋光，不僅可以保證拋光頭與被拋光工件表面吻合性好，而且可以通過調(diào)節(jié)壓力控制拋光效率和被拋光工件的表面質(zhì)量。目前，氣囊拋光運(yùn)動(dòng)控制主要以五軸聯(lián)動(dòng)為主，即通過數(shù)控系統(tǒng)的3個(gè)進(jìn)給軸及2個(gè)進(jìn)動(dòng)軸聯(lián)動(dòng)實(shí)現(xiàn)對(duì)光學(xué)元件的高精拋光。(參見文獻(xiàn)1、LiJ...
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