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一種離子鍍弧源頭的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3283280

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本實用新型涉及薄膜與涂層制備,具體地說是一種離子鍍弧源頭。背景技術(shù)表面防護(hù)涂層技術(shù)是提高工模具及機械部件質(zhì)量和使用壽命的重要途徑,作為材料表面防護(hù)技術(shù)之一的PVD技術(shù),以其廣泛的功能性、良好的環(huán)保性以及巨大的增效性等優(yōu)勢,可以提高工模具及機械零件表面的耐磨性、耐蝕性、耐熱性及抗疲勞強度等力學(xué)性能,極大的提高產(chǎn)品附加值,以保證現(xiàn)代機械部件及工模具在高速、高溫、高壓、重載以及強腐蝕介質(zhì)工況下可靠而持續(xù)地運行。PVD主要分為真空蒸鍍、磁控濺射和離子鍍?nèi)齻€類型。在...
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