技術編號：3284077
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及具有優(yōu)良透明度和對氣體(如氧氣、水蒸汽)的優(yōu)良阻隔性的氧化鋁。背景技術 近年來，通過真空沉積、陰極濺射、離子電鍍、化學氣相沉積等把無機氧化物(如氧化硅或氧化鋁)沉積在塑料基材的表面上形成的透明氣體阻隔性薄膜作為對氣體(如氧氣和水蒸汽)具有阻隔性的材料受到了很大的關注。為了制造具有氧化鋁沉積層的氣體阻隔性薄膜，通常采用包括如下步驟的方法把氧氣通給使用電子束等加熱蒸發(fā)的鋁使鋁氧化以及把氧化鋁沉積在塑料基材上。但是，熱蒸發(fā)的鋁很容易和氧氣反應。因此，如...
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