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濺射用鈦靶的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3287971

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一種濺射用鈦靶,其為高純度鈦靶,其特征在于,含有0.5~5質(zhì)量ppm的S作為添加成分,除了添加成分和氣體成分以外,靶的純度為99.995質(zhì)量%以上。本發(fā)明的課題在于提供一種即使在高功率濺射(高速濺射)時(shí)也不會(huì)產(chǎn)生龜裂或破裂、能夠使濺射特性穩(wěn)定的高品質(zhì)的濺射用鈦靶。專利說明濺射用鈦靶[0001]本發(fā)明涉及即使在高功率濺射(高速濺射)時(shí)也不會(huì)產(chǎn)生龜裂或破裂、能夠使濺射特性穩(wěn)定的高品質(zhì)的濺射用鈦靶。[0002]另外,關(guān)于本說明書中記載的雜質(zhì)濃度,全部用質(zhì)量分?jǐn)?shù)(...
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