技術(shù)編號(hào):3287971
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種濺射用鈦靶,其為高純度鈦靶,其特征在于,含有0.5~5質(zhì)量ppm的S作為添加成分,除了添加成分和氣體成分以外,靶的純度為99.995質(zhì)量%以上。本發(fā)明的課題在于提供一種即使在高功率濺射(高速濺射)時(shí)也不會(huì)產(chǎn)生龜裂或破裂、能夠使濺射特性穩(wěn)定的高品質(zhì)的濺射用鈦靶。專利說明濺射用鈦靶[0001]本發(fā)明涉及即使在高功率濺射(高速濺射)時(shí)也不會(huì)產(chǎn)生龜裂或破裂、能夠使濺射特性穩(wěn)定的高品質(zhì)的濺射用鈦靶。[0002]另外,關(guān)于本說明書中記載的雜質(zhì)濃度,全部用質(zhì)量分?jǐn)?shù)(...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。