技術(shù)編號：3289413
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種直列式多腔疊層并行處理真空設(shè)備，包括呈直線式依次連接的進片腔、反應(yīng)腔和出片腔，其特征在于所述進片腔和出片腔中分別設(shè)置有用于基板傳輸?shù)牡谝粋鬏攩卧偷诙鬏攩卧?，所述反?yīng)腔內(nèi)部豎直堆疊設(shè)置有數(shù)目不少于兩個的子反應(yīng)腔以用于所需薄膜的制備，所述各子反應(yīng)腔在面對所述進片腔的一側(cè)和面對所述出片腔的一側(cè)分別設(shè)置有開合裝置。該設(shè)備能夠減少基板的搬運次數(shù)，提高設(shè)備產(chǎn)能和生產(chǎn)效率。專利說明[0001] 本發(fā)明涉及一種太陽能電池及平板顯示制造領(lǐng)域的一種真空...
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