技術(shù)編號：3289451
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于高純度材料加熱處理，尤其適用于薄膜生長的加熱系統(tǒng)。本發(fā)明提供一種可將樣品懸掛加熱的加熱系統(tǒng)或者類似裝置，該系統(tǒng)具有加熱溫度高、加熱均勻、成膜均勻質(zhì)量高的特點。本發(fā)明涉及的加熱系統(tǒng)主要包括加熱部件、隔熱部件以及懸掛夾持部件。利用該系統(tǒng)可以對樣品進行懸掛加熱，可最大程度的釋放由于高溫膨脹引發(fā)的形變，有利于生長出高質(zhì)量的薄膜材料。專利說明一種懸掛式加熱系統(tǒng) [0001]本發(fā)明涉及高純度材料加熱處理用腔室，尤其適用于薄膜生長的襯底加熱腔室以及類似裝...
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