技術(shù)編號：3290367
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供晶圓的倒角加工方法和裝置以及磨具角度調(diào)整用工具，在使用2個無槽磨具的晶圓的倒角加工方法中，縮短無槽磨具的整形（修整）所花費(fèi)的時(shí)間。此外，增大無槽磨具與晶圓的接觸長度，縮短晶圓的縮徑加工和將晶圓加工成希望的截面形狀的輪廓加工所需的時(shí)間。晶圓的倒角加工方法是將晶圓（1）定心地載置在旋轉(zhuǎn)臺上，并使其旋轉(zhuǎn)，使加工該旋轉(zhuǎn)的晶圓的2個無槽磨具（3、3）與晶圓周端部（1a）接觸而對晶圓（1）的直徑或截面形狀進(jìn)行倒角的倒角加工方法，其特征在于，使上述2個無槽磨具...
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