技術(shù)編號：3298560
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種鋅鎵鋁三元氧化物（中空管狀）旋轉(zhuǎn)陶瓷靶材及其制備方法。其特點是，原料組成以質(zhì)量百分比計為氧化鎵含量為0.5-3.5%、氧化鋁含量為0.5-2.5%、氧化鎢含量為0.002-0.05%，余量為氧化鋅。本發(fā)明以氧化鋅、氧化鎵、氧化鋁及微量氧化鎢粉末為原料，采用干法混合、焙燒、濕法球磨分散處理工藝，使各組分在基體內(nèi)分布均勻，三元氧化物混合粉具有良好分散性和燒結(jié)活性。具有高致密性、高成品率，工藝設(shè)備簡單，成本較低，易于工業(yè)化。靶材具有高密度、低中毒率...
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