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技術(shù)編號：3299065

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一種高性能ZAO旋轉(zhuǎn)靶材的制備方法，它涉及一種含氧化鋅摻鋁的陶瓷靶材成型的制備方法。本發(fā)明是要解決目前制備ZAO旋轉(zhuǎn)靶材采用噴涂方法設(shè)備昂貴，制備的靶材密度低的技術(shù)問題。本發(fā)明的制備方法按以下步驟進行一、將ZAO粉體在模具中壓制成粗坯；二、采用真空熱壓燒結(jié)工藝制得ZAO旋轉(zhuǎn)靶材。本發(fā)明的制備方法方法簡便易行、效率高、耗能低，且制備過程中無需添加任何助劑；本發(fā)明制備的ZAO旋轉(zhuǎn)靶材致密性好、電阻率低。本發(fā)明可用于防結(jié)霧風擋玻璃、隔熱防輻射玻璃、液晶顯示器、觸...
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