技術(shù)編號(hào)：3301403
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型公開(kāi)了一種磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線的破真空充氣裝置，包括充氣閥、內(nèi)分流槽、內(nèi)分流槽端板、外分流槽、外分流槽端板。其中充氣閥與真空室連接的過(guò)流口面積比充氣閥進(jìn)氣口面積大；內(nèi)分流槽兩側(cè)及底面的除正對(duì)充氣口位置之外的位置上鉆有若干小孔，小孔的總面積大于充氣閥的過(guò)流口面積；外分流槽兩側(cè)及底面鉆有若干小孔，小孔總面積大于內(nèi)分流槽小孔的總面積；內(nèi)、外分流槽焊接在充氣口上，其端板分別焊在內(nèi)、外分流槽的兩端并分別鉆有小孔；內(nèi)、外分流槽的小孔互相錯(cuò)開(kāi)。本實(shí)用新型的磁控濺...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。