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一種晶圓基片加工方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3302932

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本發(fā)明涉及一種機(jī)械加工領(lǐng)域,尤其是涉及。背景技術(shù)晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,是半導(dǎo)體行業(yè)的基礎(chǔ),在晶圓片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅,但是晶圓的技術(shù)過(guò)去主要掌握在歐美以及日本等國(guó)手中,尤其是在基片加工中難度較大,國(guó)內(nèi)基片的廠家屈指可數(shù),尤為大尺寸8,以上的更是鳳毛麟角。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的就是為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷而提供一種生產(chǎn)成本低,產(chǎn)品良率聞的晶...
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