技術(shù)編號：3303981
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明為一種，屬于材料表面工程。背景技術(shù)幾乎所有采用PVD、CVD或電子沉積技術(shù)制備的薄膜中都存在殘余應(yīng)力，這成了制約薄膜材料廣泛應(yīng)用的一個根本問題。對于改善薄膜應(yīng)力的方法，目前較多的文獻(xiàn)報導(dǎo)是在薄膜制備過程中采用相應(yīng)的技術(shù)手段，到目前為止，國內(nèi)外還沒有基于強(qiáng)流脈沖離子束技術(shù)在成膜后改善超硬多層薄膜殘余應(yīng)力的相關(guān)專利和報導(dǎo)。超硬多層薄膜的特點是硬度高(在40GPa以上)；厚度較薄(微米級)；層數(shù)較多(可達(dá)幾十層以上)；涂層內(nèi)部形成多界面結(jié)構(gòu)。雖然多層薄膜的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。