技術(shù)編號：3304073
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種材料表面涂層的制備方法，尤其是一種高性能Ti-Mo-N多元薄膜的制備方法。背景技術(shù)Ti-N 二元薄膜具有高的硬度、耐磨性以及優(yōu)異的耐腐性，因而被廣泛用于在刀具、 模具材料等表面制備薄膜涂層以提高。然而隨著現(xiàn)代工業(yè)的快速發(fā)展，對材料性能提出了越來越高的要求，迫切要求在硬度、耐磨性、耐腐蝕性、高溫抗氧化性等各個方面改善TiN 的使用性能。現(xiàn)今被普遍使用的方法主要是在TiN薄膜中摻雜第三、第四種元素或者對通過對薄膜實施熱處理從而改變薄膜的硬度等性能...
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