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技術(shù)編號(hào)：3308784

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提供一種濺射中沒有裂紋的Fe-Co系合金濺射靶材。該Fe-Co系合金濺射靶材，由下式(1)(FeX-Co100-X)100-YMY...(1)(式中，原子比是0≤X≤100，4≤Y≤28，M元素含有Nb、Ta、Mo、W、Cr和V中的一種或兩種以上)所表示的Fe-Co-M系合金構(gòu)成。該濺射靶材的顯微組織具有以Fe和Co為主體的相、和由Fe與Co中的一種或兩種及M元素所構(gòu)成的金屬問化合物相，在全體顯微組織中共晶組織所占的面積為30％以下。專利說明Fe-Co系合...
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