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技術(shù)編號(hào)：3309974

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本發(fā)明提出一種去除PECVD裝置的電荷的系統(tǒng)，包括PECVD腔室，具有光源出入口；光源，用于照射PECVD腔室的內(nèi)壁；驅(qū)動(dòng)裝置，驅(qū)動(dòng)裝置與光源相連，用于驅(qū)動(dòng)光源從光源出入口進(jìn)出PECVD腔室；擋板，位于PECVD腔室的內(nèi)壁的一側(cè)，用于開(kāi)閉光源出入口；控制器，分別與光源，驅(qū)動(dòng)裝置和擋板相連，用于在通過(guò)驅(qū)動(dòng)裝置控制光源進(jìn)入PECVD腔室時(shí)，控制擋板打開(kāi)光源出入口并控制光源照射PECVD腔室的內(nèi)壁，以及在光源移出PECVD腔室時(shí)、控制擋板關(guān)閉光源出入口。本發(fā)明的...
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