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金屬氧化物多孔納米結(jié)構(gòu)薄膜的制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3311269

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本發(fā)明公開(kāi)了金屬氧化物多孔納米結(jié)構(gòu)薄膜(MO-PNFs)的制備方法,涉及多孔薄膜的制備。本發(fā)明首先利用磁控共濺射鍍膜技術(shù)在室溫下沉積了不銹鋼基金屬-鋁合金薄膜,然后在高真空下進(jìn)行退火處理,最后置于NaOH溶液中進(jìn)行腐蝕,除去較活潑的鋁組分,并利用不銹鋼襯底和較惰性的金屬組分或者其半氧化產(chǎn)物構(gòu)成原電池,進(jìn)一步氧化金屬組分并自組裝成MO-PNFs。本發(fā)明通過(guò)控制合金薄膜的組成元素、退火溫度,以及NaOH溶液的濃度等參數(shù)來(lái)控制合金薄膜的腐蝕過(guò)程,從而可控制得各種...
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