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超薄單晶鍺片的加工方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3311399

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一種,其特征是它包括以下步驟首先,利用線切割設(shè)備從單晶鍺棒上切割得到厚度不超過(guò)0.5毫米的單晶鍺片;其次,將單晶鍺片裝夾到低溫拋光機(jī)上;第三,先采用粒度為10~28μm的金剛石、剛玉、碳化硅、碳化硼等莫氏硬度大于9的硬質(zhì)磨料冰凍固結(jié)磨料拋光盤作為粗加工用拋光頭,采用無(wú)水有機(jī)溶劑作為拋光液;第四,改用粒度0.06~2μm的CeO2、氧化硅等莫氏硬度小于9的磨料冰凍固結(jié)磨料拋光盤作為精加工用拋光頭進(jìn)行二次拋光加工,控制拋光溫度在-30~-10℃,拋光壓力控制在...
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