技術(shù)編號：3311402
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明揭示了一種研磨墊，所述研磨墊包括底層，所述底層包括一疏水層表面，所述疏水表面的接觸角大于等于90°。本發(fā)明還提供包括所述研磨墊的研磨機(jī)臺及其研磨方法。所述疏水表面的表面張力較大，有利于水從所述研磨墊的表面滑落，在研磨過程中，水分很容易地從所述研磨墊的表面去除，避免水分接觸金屬鋁等薄膜材料，從而避免金屬鋁等薄膜受水分的影響(例如被腐蝕)，提高被研磨薄膜的質(zhì)量；同時，由于水分很容易即被排出，所以，減少了特定化學(xué)試劑的用量，節(jié)約研磨成本。專利說明[0001...
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