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一種可用于金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3313435

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本發(fā)明公開(kāi)了一種可用于金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器,包括爐體、位于爐體上方的發(fā)熱絲;所述爐體包括圓盤(pán)和位于圓盤(pán)周圍的圓環(huán),所述圓環(huán)至少包括一個(gè)由扇形環(huán)組合而成的組合圓環(huán);所述發(fā)熱絲相應(yīng)包括位于圓盤(pán)上方的圓盤(pán)發(fā)熱絲和位于扇形環(huán)上方的扇形環(huán)發(fā)熱絲。本發(fā)明由于爐體圓環(huán)采用扇形環(huán)組合而成,可有效減少爐體高溫?zé)崤蛎浶?yīng),可以有效解決大尺寸加熱器容易損壞的現(xiàn)狀;扇形環(huán)上方的扇形環(huán)發(fā)熱絲采用同心螺旋扇形繞法和同心圓弧繞法,可以很好的保證整體溫度的均勻性。專利說(shuō)...
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