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蒸鍍裝置、蒸鍍?cè)O(shè)備及蒸鍍方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3314657

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本發(fā)明提供一,蒸鍍裝置包括至少一蒸鍍?cè)矗灰约?,一?dòng)力裝置,接設(shè)于所述蒸鍍?cè)?,所述?dòng)力裝置驅(qū)動(dòng)所述蒸鍍?cè)赐鶑?fù)搖擺。本發(fā)明將現(xiàn)有線性蒸鍍?cè)粗本€掃描生產(chǎn)方式,改為搖擺方式來(lái)達(dá)成成膜目的。利用蒸鍍?cè)吹膿u擺,減少其中一個(gè)或多個(gè)噴口出氣率不良時(shí)的影響,提高蒸鍍氣體均勻性,從而提高成膜均勻性。專利說(shuō)明[0001]本發(fā)明涉及蒸鍍技術(shù),特別涉及一種能利用搖擺式蒸鍍裝置提高成膜均勻性的。背景技術(shù)[0002]如圖1所示,為現(xiàn)有技術(shù)蒸鍍機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)示意圖。該蒸鍍機(jī)構(gòu)在一個(gè)蒸鍍腔體...
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