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技術(shù)編號(hào)：3314854

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本發(fā)明提供一種線性蒸發(fā)源，所述線性蒸發(fā)源包括加熱模塊，用于自坩鍋加熱沉積材料；噴嘴頭，包括沉積材料容置部及模塊配置部，所述沉積材料容置部用于容置自所述坩鍋傳送的所述沉積材料，所述模塊配置部沿徑向配置于所述沉積材料容置部?jī)?nèi)部，且所述加熱模塊配置于所述模塊配置部中；以及多個(gè)噴嘴，所述多個(gè)噴嘴中每一噴嘴的一個(gè)端部與所述噴嘴頭的所述沉積材料容置部連通且另一個(gè)端部暴露于所述噴嘴頭的外部以排放由所述加熱模塊蒸發(fā)的所述沉積材料。專(zhuān)利說(shuō)明線性蒸發(fā)源及具有所述線性蒸發(fā)源的用...
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