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技術(shù)編號(hào)：3315723

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一種解決TEOS機(jī)臺(tái)保養(yǎng)后顆粒跳高的方法，包括進(jìn)口管路、流量計(jì)、薄膜分支管路、薄膜分支管路的霧化器、厚膜分支管路、厚膜分支管路的霧化器和工藝腔室，TEOS機(jī)臺(tái)保養(yǎng)后，通過淀積TEOS厚膜和淀積TEOS薄膜的工藝方法，以跑假片的方式，對(duì)厚膜分支管路和薄膜分支管路分別各進(jìn)行至少一次的清潔處理，以排出薄膜分支管路和厚膜分支管路中的結(jié)晶小顆粒；本發(fā)明能有效解決由于管路氣體回流造成的二次顆粒污染，并使得薄膜分支管路和厚膜分支管路中的結(jié)晶顆粒都得到有效清潔，從而解決機(jī)...
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