技術(shù)編號(hào)：3316564
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種具有多重修整粒組合的藍(lán)寶石拋光墊修整器，其結(jié)構(gòu)包含一具有特定軸向的藍(lán)寶石晶圓，該特定軸向?yàn)閍軸、c軸、r軸、m軸、n軸以及v軸的其中之一；多顆修整粒及多個(gè)刮刀部，該多個(gè)刮刀部是以預(yù)定的幾何排列方式形成于該藍(lán)寶石晶圓的至少一面，且該多顆修整粒分布于該多個(gè)刮刀部之間；其中，藉由該修整粒對(duì)一拋光墊的表面進(jìn)行修整，以使該拋光墊的表面經(jīng)過(guò)修整后產(chǎn)生新的孔洞及纖毛結(jié)構(gòu)，同時(shí)移除該拋光墊表面上散布的不具有研磨效果的微粒，藉此維持該拋光墊的研磨效率。專利說(shuō)明具有多重整...
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