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技術(shù)編號：3316871

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本發(fā)明公開了一種研磨拋光盤的循環(huán)冷卻結(jié)構(gòu)，包括中心旋轉(zhuǎn)軸及間隙套設(shè)在中心旋轉(zhuǎn)軸上的空套旋轉(zhuǎn)軸，所述空套旋轉(zhuǎn)軸與中心旋轉(zhuǎn)軸的間隙中設(shè)有密封裝置，所述密封裝置設(shè)有互不連通的進水腔和出水腔，所述中心旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)有與旋轉(zhuǎn)接頭連接的第一進水道和第一出水道，所述空套旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)有與研磨拋光盤連通的第二進水道和第二出水道，所述第一進水道和第一出水道分別通過進水腔和出水腔與第二進水道和第二出水道連通。本發(fā)明可實現(xiàn)對研磨拋光盤盤面的主動循環(huán)冷卻，將拋光時產(chǎn)生大量的熱量及時帶走，...
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