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用于固體化學(xué)制品持續(xù)蒸汽發(fā)送的起泡器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3318207

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本發(fā)明涉及用于固體化學(xué)制品持續(xù)蒸汽發(fā)送的起泡器。一種起泡室組件,包括一個室或兩個或多個串聯(lián)的室,所有室都基本垂直取向。在該一個室或多個室中具有化合物的固態(tài)或液態(tài)源。所述一個室或多個串聯(lián)的室沿所述載氣穿過該一個室或多個室的流動方向的長度或總長與該一個室或多個室沿所述載氣穿過該一個室或多個室的流動方向的橫截面的平均直徑相當(dāng)值之比不小于約61。專利說明用于固體化學(xué)制品持續(xù)蒸汽發(fā)送的起泡器[0001] 本申請是申請日為2005年5月17日、申請?zhí)枮?0058001...
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