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技術(shù)編號：3325004

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本發(fā)明涉及激光陀螺，具體涉及。其通過酸、堿溶液化學(xué)清洗、超聲波物理清洗與高能寬束離子束清洗相結(jié)合，能夠有效去除0.5μm以上的節(jié)瘤缺陷種子源。該方法可以在有效去除表面有機(jī)污染物和污染顆粒的同時，實現(xiàn)表面無損傷的基板預(yù)處理，即在不引起表面缺陷的同時，有效去除表面污染顆粒，實現(xiàn)在超光滑基板表面制備的超低損耗激光薄膜散射最大值小于5ppm，總損耗小于10ppm。專利說明 [0001]本發(fā)明涉及激光陀螺，具體涉及。 背景技術(shù) [0002]超低損耗激光薄膜...
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