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高純砷生產(chǎn)還原反應(yīng)器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3328652

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高純砷生產(chǎn)還原反應(yīng)器,涉及一種半導(dǎo)體基礎(chǔ)材料高純砷的上產(chǎn)用還原反應(yīng)設(shè)備。包括升華段、反應(yīng)段、產(chǎn)品段,所述升華段、反應(yīng)段、產(chǎn)品段依次密封連接且相互連通,升華段的開(kāi)始端設(shè)置進(jìn)氣口,在產(chǎn)品段的末端設(shè)置出氣口,出氣口通過(guò)管道連接至尾氣瓶,升華段、反應(yīng)段、產(chǎn)品段分別包括爐體,在各爐體外分別由內(nèi)而外設(shè)置爐瓦、保溫層,在爐瓦內(nèi)設(shè)置爐絲,在相鄰兩個(gè)爐體的連接處分別設(shè)置活動(dòng)保溫套,在升華段的爐體內(nèi)設(shè)置三氧化二鋁陶瓷舟,在產(chǎn)品段爐體的內(nèi)壁上設(shè)置石英瓦,在反應(yīng)段的爐體內(nèi)設(shè)置螺旋...
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