技術(shù)編號：3328729
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型屬于新材料加工，具體提供了一種大直徑碳化硅晶片的邊緣倒角的專用砂輪，該砂輪將粗倒角砂輪和精倒角砂輪整合在一起，利用兩次倒角的方式對切割后的碳化硅晶片進行粗倒角和精倒角兩次倒角，最終利用這種特種砂輪實現(xiàn)了不需更換砂輪即可完成兩次倒角的工藝，實現(xiàn)晶片邊緣表面粗糙度小，無崩邊，無加工缺陷的大直徑碳化硅邊緣倒角。專利說明一種大直徑碳化硅晶片的邊緣倒角用砂輪[0001]本實用新型屬于新材料晶體加工領(lǐng)域，具體涉及一種大直徑碳化硅晶片的邊緣倒角用砂輪。背景技術(shù)...
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