技術編號：3328918
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型公開了一種遠程等離子體系統(tǒng)（RPS）與化學氣相沉積（CVD）設備之間的連接裝置，通過將原有RPS與CVD設備腔體之間的連接管分段設置，并在二段連接管之間加裝一個隔離閥，將RPS和腔體隔絕，使RPS和腔體之間不發(fā)生直接連通，在拆除RPS的時候，將隔離閥關閉，即可實現腔體不需要再破大氣，省去了腔體因此升降溫和腔體維護的時間，本實用新型解決了現有技術存在的在拆除RPS時，腔體復機時間過長的問題，從而增加了設備的利用率。專利說明遠程等離子體系統(tǒng)與化學氣相...
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