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研磨頭及研磨裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3332080

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本實(shí)用新型公開(kāi)一種研磨頭及研磨裝置,通過(guò)在所述限位環(huán)的底部設(shè)置若干第一槽和若干第二槽;第一槽的分布方向與研磨頭旋轉(zhuǎn)的方向保持一致,第二槽的分布方向與研磨頭旋轉(zhuǎn)的方向相反,在進(jìn)行化學(xué)機(jī)械研磨時(shí),研磨殘?jiān)蟛糠挚捎伤龅谝徊叟懦鋈?,少部分由所述第二槽排出去,進(jìn)而避免了所有研磨殘?jiān)煞奖阊心ヒ毫魍ǖ牡诙叟懦觯菀壮练e研磨殘?jiān)?,造成研磨液流通不暢、晶圓出現(xiàn)損傷的現(xiàn)象,提高了產(chǎn)品良率。專利說(shuō)明研磨頭及研磨裝置 [0001] 本實(shí)用新型涉及點(diǎn)膠機(jī)產(chǎn)品,尤其涉...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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