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技術(shù)編號(hào)：3334152

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一種整合物理氣相沉積與化學(xué)氣相沉積的連續(xù)式沉積設(shè)備，包含有一物理氣相沉積裝置、一化學(xué)氣相沉積裝置、一通道、一運(yùn)輸裝置、一第一閘門(mén)與一第二閘門(mén)。該物理氣相沉積裝置具有一第一腔室，該化學(xué)氣相沉積裝置具有一第二腔室，該通道連通該第一腔室與該第二腔室，并包含一緩沖室，該運(yùn)輸裝置設(shè)置于該通道以將一待沉積基材于該第一腔室與該第二腔室之間輸送，而該第一閘門(mén)設(shè)置于該第一腔室與該緩沖室之間，該第二閘門(mén)設(shè)置于該緩沖室與該第二腔室之間。據(jù)此，本實(shí)用新型得以在不破真空的狀態(tài)，接續(xù)...
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