技術(shù)編號：3335491
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型公開了一種氣相沉積清理行星盤的系統(tǒng)，屬于芯片工裝設(shè)備領(lǐng)域。包括蒸發(fā)機臺、冷泵、機械泵、高壓柜和晶控儀，所述的蒸發(fā)機臺包括鐘罩，所述的鐘罩將三角架、軌道、行星盤、烘烤燈和電子槍封閉在鐘罩內(nèi)部形成腔體，鐘罩內(nèi)部的腔體與外部的氦氣壓縮機、冷泵、機械泵和高壓柜連接。在系統(tǒng)中使用旋轉(zhuǎn)電機系統(tǒng)，使用圓周形的軌道。在旋轉(zhuǎn)過程中對行星盤進行氣相沉積，沉積表面均勻光滑。使用物理方法的氣相沉積方法，使用鎳和鋁進行氣相沉積，對環(huán)境無影響，環(huán)保無污染，儀器的使用壽命長，...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。