技術(shù)編號:3337840
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型公開了一種管式PECVD防呆舟漿,所述防呆舟漿包括石墨舟推拉桿、定位螺絲和托舉裝置;所述托舉裝置安裝于所述防呆舟漿的漿頭內(nèi)側(cè),位于石墨舟腳支撐位置;兩根所述石墨舟推拉桿通過所述定位螺絲進行連接定位;所述托舉裝置包括固定裝置、連接裝置和托舉塊;所述連接裝置置于兩個所述托舉塊之間,用于連接所述托舉塊;所述固定裝置置于所述托舉塊的外側(cè),用于將所述托舉塊與所述石墨舟推拉桿進行固定。本實用新型提供的防呆舟漿可有效避免在生產(chǎn)過程中抬放石墨舟時左右放歪,杜絕了...
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