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光學零件中高頻誤差的組合式加工方法技術資料下載

技術編號:3340554

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本發(fā)明涉及ー種光學零件的加工方法,尤其涉及ー種光學零件中高頻誤差的控制エ藝方法。 背景技術傳統(tǒng)的光學加工手段中,加工工具同光學元件之間存在大面積的空間幾何接觸形態(tài),有利于面形誤差連續(xù)性的生成,誤差表現為宏觀尺度,即低頻形狀誤差;而微納米量級研拋磨料同光學元件材料間的機械化學綜合作用,主要體現為微觀尺度的誤差演變,即高頻粗糙度誤差。因此,傳統(tǒng)加工手段(如古典拋光、環(huán)拋等)所得到的エ件表面誤差中基本不包含嚴重的中高頻誤差形態(tài),能夠保證光學元件的良好光學性能。現...
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